Buhar gücüyle çalışan makine fikri eskiye dayanmaktadır. Daha önceleri küçük işlerde kullanılan çeşitli buhar kazanları geliştirilmiştir. Ancak 1712'de Thomas Newcomen adlı İngiliz bir mucit makine sayılabilecek ilk gelişkin buhar sistemini kurmuştur.

1764 yılında, bozulan Newcomen üretimi makinelerden biri onarıp geliştiren James Watt isimli İskoç mucit iki odalı bir buhar makinesi geliştirdi. Böylece modern buhar makinesi üretilmiştir. Buhar makinesi geliştiren İngilizler, Sanayi Devriminin de öncüsü olmuşlardır.

Zamanla insanın gücünün yerini makineler almış ve üretim inanılmaz bir şekilde artmıştır.

Buhar makinesinin üretiminde şu aşamalar vardır:

• 1679 yılında Danis Papin düdüklü tencereyi icat etmiştir.
• 1698 yılında, Thomas Savery madenlerdeki suyu boşaltan bir buhar makinesi kurmuştur. Bu satışa çıkan ilk ticari makinedir.
• 1712’de Thomas Newcomen yeni bir buhar makinesi geliştirdi.
• James Watt 1781 yılında Newcomen makinesi mekanik aksamlar ekleyerek makineyi iyice geliştirdi.
• 1884 yılında Charles Algenon Parsons ilk başarılı buhar türbinini üretti.